①以任何形式接觸到三氯氫硅是都應當立即開始急救
盡快將受傷者從污染區域轉移是很重要的。
②皮膚接觸
當皮膚接觸、衣服污染或者是兩者都有，迅速脫掉所有的衣服和鞋襪，用大量的水清洗皮膚受污染部位，持續清洗至少15分鐘；在做檢查之前任何藥膏都不能用來治療化學品灼燒；被三氯氫硅浸濕的衣服和鞋襪應該丟棄；所有的傷者應當由內科醫生看護。
③眼睛接觸
極少量的三氯氫硅進入眼睛，應該立即用大量的水沖洗，最低限度要持續進行15分鐘。
④食入三氯氫硅
立即通知醫生到達現場。如果發生嘔吐，喝水來沖淡化學品；讓病人保持舒服和溫暖，不要給失去知覺的人通過口腔喂食任何食物。
⑤吸入三氯氫硅
立即將吸入三氯氫硅烷蒸汽的人從受污染的空氣中轉移。如果受害者已經停止呼吸，要立即對其進行人工呼吸；并且通知醫生。派經專業培訓過的人員對病人進行輸氧，如果可行的話。受傷的人要保持溫暖環境，但是不要太熱。
三氯氫硅生產的原料都是不燃物質，但是其生產過程中的產物大都是易燃易爆的物質，如，氫氣、三氯氫硅、氯氣等。
1.電解食鹽水的火災危險性
①電解是有強大的電流通過，如果電氣的絕緣不良極易產生電火花，電解車間經常有氫氣泄漏，遇到電火花或者其它明火會發生燃燒或爆炸。
②如氫氣與氯氣想混，達到爆炸極限范圍，遇光也會發生爆炸。
2.三氯氫硅合成的火災危險性
SiHCl3的合成是在280℃～300℃的溫度下進行的，已經超過了SiHCl3的自燃溫度175℃，在合成過程中如果SiHCl3發生泄漏，或者空氣進入反應器，極易引起燃燒、爆炸或中毒事故。并且SiHCl3有毒，遇水燃燒，給火災撲救帶來一定的困難。
3.三氯氫硅貯罐的火災危險性
SiHCl3的貯罐如果發生泄漏，其危險性遠遠大于工藝管道泄漏的危險性，因為我貯量大，一旦發生泄漏，如果不及時堵漏，影響會不斷擴大。貯罐區因為冷卻水的需要經常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水發生反應，產生有毒的HCl，向四周擴散，給搶險救援工作帶來困難。
1.生產和儲存中如果發生三氯氫硅泄漏，應根據泄漏量的大小劃出一定的警戒范圍，禁止無關人員和車輛進入警戒區，切斷警戒區的所有火源，迅速撤離泄漏污染區內的人員至安全地帶。如果是貯罐發生泄漏，又不能及時排除泄漏，就應該將發生泄漏的貯罐內的三氯氫硅用氮氣壓入備用罐內。如果是生產中的設備和管道發生泄漏，應立即停止生產，并迅速關閉有關閥門切斷物料輸送。
泄漏地帶有水源時，應用干砂土圍成隔離帶，將泄漏的三氯氫硅與水隔離開來。搶救人員進入危險區域是應佩戴自給式呼吸器或防毒面具。應先查明泄漏部位的泄漏狀況。由于貯存三氯氫硅的容器為常壓容器，應針對不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切斷泄漏源，用砂土、水泥吸收殘留液。
2.三氯氫硅泄漏后發生燃燒時，應采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥滅火，禁止直接用水和泡沫撲救。
疏散泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，應急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學防護服。不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質（木材、紙、油等）接觸，在確保安全情況下堵漏。大量泄漏最好不用水處理，在技術人員指導下清除。
①呼吸系統防護：可能接觸其蒸氣時，必須佩戴防毒面具，緊急事態搶救或逃生時，佩戴自給式呼吸器。
②眼睛防護：戴化學安全防護眼鏡。
③防護服：穿工作服（防腐材料制作）
④手防護：戴橡膠手套。
①皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用流動清水沖洗15分鐘，若為灼傷，就去治療。
②眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動的清水沖洗10分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液清洗。
③吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。注意保暖，保持呼吸道暢通，必要時進行人工呼吸。就醫。
④食入：患者清醒時立即漱口，給飲牛奶或蛋清。立即就醫。
二氯二氫硅易燃，其蒸氣能與空氣形成爆炸性混合物。與熱源、明火有燃燒爆炸的危險，與鹵素及其他氧化劑劇烈反應，遇水或水蒸氣劇烈反應，生成鹽酸鹽煙霧。
滅火方法：切斷氣源。若不能切斷氣源，則不允許熄滅泄露出的火焰。冷水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。
滅火劑：干砂、干粉或水泥。
氮氣為無色、無臭、無味的氣體，屬于惰性氣體，一般情況下十分穩定，但在高溫下可與氧反應生成氧化亞氮（NO2），與氫反應生成氨（NH3）。
空氣因含有氧氣而具有氧化性和助燃性，液態和壓縮空氣遇硫、磷會引起爆炸，能使油脂劇烈氧化，甚至發生燃燒爆炸。與乙炔、氫、甲烷等易燃氣體能形成具有爆炸性的混合物。貯存容器受熱后壓力增大，有開裂和爆炸的危險。
易分解放出氨氣，溫度越高，分解速度越快，可形成爆炸性氣氛。
1.泄漏應急處理
迅速撤離污染區人員至安全區，并進行隔離，嚴格限制出入，應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防酸堿工作服。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。
2.小量泄漏：用砂土、蛭石或者其它惰性材料吸收。也可以用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統。
大量泄漏：構筑圍堤或挖坑收容。用泵轉移至流動清水沖洗至少15分鐘。就醫。
3.眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。
4.吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。
5.食入：用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫。
刺激眼及上呼吸道，嚴重時引起化學性肺炎與肺水腫、皮膚灼傷。一般易燃性氣體或蒸氣都能與其形成火災或爆炸。（如，松節油、乙醚、氨氣、烴類、氫氣、金屬粉末）等呼入極高濃度的氯氣，可引起迷走神經反射性心跳停或喉頭痙攣而發生“電擊樣”死亡。
人員迅速撤離泄漏區至上風向，并隔離直至氣體散盡，切斷氣源，合理通風，加速擴散；噴霧狀水稀釋、溶解；構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水，如有可能，用管道將泄漏物導至還原劑（酸式硫酸鈉或酸式碳酸鈉）溶液，也可以將漏氣鈉瓶浸入石灰乳液中；各種防毒面具均能有效防護進入高濃度區，必須全身防護，采用隔絕式面具。
極易于液化、易燃，接觸氨可引起嚴重灼傷；水溶液有腐蝕性；高濃度氨可引起反射性呼吸停止。
人員迅速撤離泄漏污染區至上風向，并隔離直至氣體散盡，防止皮膚接觸；切斷電源，建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防靜電工作服；高濃度泄漏區用噴含鹽酸的霧狀水中和稀釋、溶解；構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水，如有可能，將殘余氣或泄漏氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風設備內，儲罐區最好設稀酸噴灑設施；漏氣容器要妥善處置，修復、檢驗后再用。
易燃有刺激性和毒性；蒸氣與空氣形成爆炸性混合物，遇熱或明火易著火、爆炸：蒸氣比空氣重，能與氧化物發生強烈反應。
腐蝕性較強；對人體有嚴重損害，重癥者可昏迷、抽搐、呼吸及循環衰竭；為致癌物。
迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，并進行隔離，嚴格限制出入，切斷火源；建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒工作服；盡可能切斷泄漏源，用霧狀水撲滅小面積火災，保持容器冷卻；用活性炭或其他惰性材料或沙土吸收，也可用不燃性分散劑乳液刷洗，經稀釋后放入廢水處理系統；如大量泄漏，立即建圍堤收容，然后收集、轉移、無害化處理。
迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，并進行隔離，嚴格限制出入，切斷電源；建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒工作服；不要直接接觸泄漏物，盡可能切斷泄漏源，防止進入下水道、排洪溝等限制性空間；環境中小范圍污染，可用3%-5%氫氧化鈉溶液、碳酸鈣或漂白粉和大量洗滌水沖洗；經稀釋過的污水排入廢水系統，阻止藥液流向水源；被污染的工具和包裝材料須及時用熟石灰或堿水消毒處理，無用的要集中焚燒，禁止使用酸堿滅火劑。
噴霧狀水，減少蒸發。用沙土、干燥石灰混合，收集運至廢物處理場所。溶于水后用碳酸鈉中和，然后用氯化鈣沉淀。也可用大量水沖洗，經稀釋的沖洗水排入廢水系統。
切斷泄漏源，防止進入下水道；少量泄漏時用沙土、干燥石灰、蘇打灰混合后回收；大量泄漏時應構筑圍堤或挖坑收容，用泵轉移至槽車內。
切斷泄漏源，防止進入下水道；或用沙土、干燥石灰、蘇打灰混合后回收；回收物應安全處置，可加純堿—消石灰溶液中和；大量泄漏時應構筑圍堤或挖坑收容，用泵轉移至槽車內。
切斷泄漏源，防止進入下水道；或用沙土、干燥石灰、蘇打灰混合后回收；用堿性物質(如碳酸氫鈉、碳酸鈉、消石灰)等中和。大量泄漏時應構筑圍堤或挖坑收容，用泵轉移至槽車內。
不要直接接觸泄漏物，避免揚塵，減少飛散；處理一般采用堿性氯化法，加堿使水處于堿性條件，再加過量次氯酸鈉、液氯或漂白粉處理。
